パッシェンの法則真空の結果 ~ Mbaheblogjplgua

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2 スでは、比較的高い密度のプラズマを得ることができ時にプラズマ中の陽イオンエネルギーを制御するのに便利な異常グロー放電が広く使われる。異常グロー放電においてもプラズマの密度や空間分布は圧力の影響を受けて異なる様相を示す。図37 はJPA JPA JPA JPA JP A ...